压阻式压力传感器
压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应而构成，其工作原理如图2-2-9所示。采用单晶硅片为弹性元件，在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺，在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻，并将电阻接成桥路，单晶硅片置于传感器腔内。当压力发生变化时，单晶硅产生应变，使直接扩散在L面的应变电阻产生与被测压力成比例的变化，再由桥式电路获相应的电压输出信号。
压阻式压力传感器具有精度高、工作可靠、频率响应高、迟滞小、尺寸小、重量轻、结构简单等特点，可以适应恶劣的环境条件下工作，便于实现显示数字化。压阻式压力传感器不仅可以用来测量压力，若稍加改变，还可以用来测量差压、高度、速度、加速度等参数。
